半導體(tǐ)芯片制造業在國(guó)民(mín)經濟中起着舉足輕重的作(zuò)用，相(xiàng)關企業的規模也越來(lái)越大(dà)，其供配電系統穩定、可(kě)靠的運維不僅是其安全生(shēng)産的基本保證，還(hái)關系到産品質量和生(shēng)産的順利進行。

• 集成電路(lù)芯片制造業屬于資金和技術(shù)高度密集的精密制造行業，其生(shēng)産有着顯著的特點，生(shēng)産過程要求環境潔淨度高，對溫度和濕度均有較爲嚴苛的要求。
• 生(shēng)産過程中大(dà)規模使用電子器件(jiàn)和集成電路(lù)且自(zì)動化程度比較高。
• 集成電路(lù)芯片制造關鍵設備多、工(gōng)位器具多、工(gōng)藝步驟繁多複雜。除供配電系統外，還(hái)需傳送系統、超純水淨化系統、真空系統、氣冷(lěng)風(fēng)冷(lěng)系統、特殊氣體(tǐ)分(fēn)配系統來(lái)保證生(shēng)産過程的順利實施以及關鍵設備的安全運行。

由于整個工(gōng)廠(chǎng)的生(shēng)産條件(jiàn)***終通過電能供給來(lái)實現，因此半導體(tǐ)芯片制造對供電質量要求非常高。

半導體(tǐ)芯片制造生(shēng)産存在的電能質量問(wèn)題

一、諧波問(wèn)題

IC測試台、PLC控制的機(jī)械手、芯片制造用的品圓機(jī)、或變頻控制的半導體(tǐ)機(jī)台都(dōu)會産生(shēng)大(dà)量的諧波，它們不但(dàn)會造成機(jī)台設備自(zì)身(shēn)的壞機(jī)現象，回流進電網的諧波電流還(hái)會引起其它回路(lù)的發熱(rè)，電子開關誤動作(zuò)、供電電壓不穩，甚至引起生(shēng)産線停線、半成品的報廢。

二、電壓暫降及中斷

半導體(tǐ)制造設備非常昂貴，不少設備價值高達幾百萬美元，對供電電壓波動非常敏感，毫秒級的電壓波動，足以使得(de)半導體(tǐ)工(gōng)廠(chǎng)的工(gōng)藝設備發生(shēng)停機(jī)從(cóng)而中斷生(shēng)産，造成巨大(dà)的經濟損失。且芯片生(shēng)産制造工(gōng)藝步驟繁多，常規的動态存儲内存加工(gōng)工(gōng)藝需要 200 道以上工(gōng)序，其中任何一步出錯都(dōu)會直接影(yǐng)響産品的合格率，讓昂貴的芯片一文不值。

對電壓波動敏感的半導體(tǐ)工(gōng)藝設備類型(幾乎囊括了所有半導體(tǐ)設備的類型)：刻蝕設備（幹刻和濕刻）、膜擴散沉澱設備（化學氣相(xiàng)沉澱和物理(lǐ)氣相(xiàng)沉澱）、加熱(rè)設備、表面處理(lǐ)和洗淨設備、光(guāng)刻設備（步進光(guāng)刻機(jī)和軌道光(guāng)刻機(jī)、掃描光(guāng)刻機(jī)）、化學機(jī)械抛光(guāng)設備、離(lí)子注入設備、測定設備、自(zì)動測試設備等。

國(guó)家發改委經濟調節運行局曾委托亞洲電能質量産業聯盟開展了電能質量經濟性影(yǐng)響調查，經過大(dà)量的調研與分(fēn)析，都(dōu)表明電壓暫降與短(duǎn)時中斷都(dōu)是非常顯著的電能質量問(wèn)題，且其中半導體(tǐ)行業因電能質量擾動帶來(lái)的生(shēng)産損失巨大(dà)。

電壓暫降及中斷使半導體(tǐ)生(shēng)産設備停機(jī)，從(cóng)而造成的直接損失和間接損失包括

• 直接損失:半導體(tǐ)矽片損壞和浪費、設備壽命縮短(duǎn)甚至損壞、清理(lǐ)産線的人(rén)工(gōng)成本等。
• 間接損失:重新啓動生(shēng)産線需要的時間、降低産品品質、延誤交貨時間等。

每一次停機(jī)所造成的經濟損失在半導體(tǐ)行業是以幾十萬、幾百萬甚至上千萬計(jì)算，所以電壓暫降問(wèn)題已成爲影(yǐng)響半導體(tǐ)制造廠(chǎng)非常重要的電能質量問(wèn)題，加強對電壓暫降等電壓事(shì)件(jiàn)的監測分(fēn)析與治理(lǐ)具有十分(fēn)重要的現實意義。

解決方案

電壓暫降問(wèn)題給半導體(tǐ)行業帶來(lái)了嚴重危害，爲此，東方博沃提供了一套完整的解決方案，具體(tǐ)如(rú)下：

應用案例

1、BW-DVR在成都(dōu)某大(dà)型半導體(tǐ)廠(chǎng)家應用

2、BW-APF在西安西弈斯偉矽片項目的應用